下载半导体结构的制造方法和半导体结构的技术资料

文档序号:34334902

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本公开实施例涉及半导体领域,提供一种半导体结构的制造方法和半导体结构,至少可以提高电容的稳定性和容量。制造方法包括:提供基底,形成位于基底上多个阵列排布的第一下电极,第一下电极的形状为柱状;形成位于第一下电极上的上层牺牲层;形成贯穿上层牺牲...
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