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CVD反应器及其应用的导流组件制造技术
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下载CVD反应器及其应用的导流组件的技术资料
文档序号:34328596
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本申请提供一种CVD反应器及其应用的导流组件。导流组件应用于CVD反应器。具体地,导流组件包括至少两个导流块,该至少两个导流块形成环状结构,用于引导反应流体进行排放。不同导流块之间相互独立,即本申请每个导流块均为独立的个体。本申请导流组件的...
该专利属于无锡先为科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡先为科技有限公司授权不得商用。
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