下载CVD反应器及其应用的导流组件的技术资料

文档序号:34328596

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本申请提供一种CVD反应器及其应用的导流组件。导流组件应用于CVD反应器。具体地,导流组件包括至少两个导流块,该至少两个导流块形成环状结构,用于引导反应流体进行排放。不同导流块之间相互独立,即本申请每个导流块均为独立的个体。本申请导流组件的...
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