下载一种芯片玻璃封盖的制作工艺的技术资料

文档序号:34326051

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本发明公开了一种芯片玻璃封盖的制作工艺,具体包括以下步骤:S1:在玻璃晶圆上加工出封盖玻璃的框体;S2:在另外一片光板玻璃晶圆键合;S3:掩膜抛光键合后的两面;S4:在玻璃封装面上光刻出封装的图形通道;S5:在图形通道内蒸镀上金锡封装薄膜;...
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