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本发明公开了一种难混溶金属的非晶态合金厚膜的制备方法，就是将难混溶的金属拼接成靶材，用聚焦离子源以一定能量轰击靶材，将本来难以混溶的原子溅射出来并沉积到旋转的衬底上，衬底的旋转使得合金成分均匀。由于冷却速度非常高，难混溶原子来不及进行相分离...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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