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一种用于监测靶材料的微滴流的设备，该靶材料的微滴流用以在辐射源中产生辐射束，其中所述设备包括：用于产生靶材料的微滴流的靶材料发射器，其中所述靶材料发射器包括腔室，所述腔室被配置用于所述靶材料在形成所述微滴流之前通过；第一换能器，其被配置为在...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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