温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

激光源包括激光腔室，激光腔室被配置为产生第一激光射束。所述激光源还包括光学系统，光学系统被耦合到激光腔室，并且被配置为接收第一激光射束并输出输出激光射束。所述激光源还包括气体吹扫系统。根据一些方面，气体吹扫系统被配置为以低于大气压的压力将氮...
该专利属于西默有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西默有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。