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粘合片及半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:34317121
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本发明涉及一种粘合片及使用该粘合片的半导体装置的制造方法,所述粘合片具有依次配置有粘合剂层(X1)、热膨胀性基材层(Y1)、及非热膨胀性基材层(Y2)的层叠结构,所述热膨胀性基材层(Y1)是在树脂基材中含有热膨胀性粒子而成的层,所述树脂基材...
该专利属于琳得科株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过琳得科株式会社授权不得商用。
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