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芯片贴装装置以及半导体器件的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:34286670
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本发明提供一种使对裸芯片施加的应力进一步减小的技术。芯片贴装装置具备上推单元、具有吸附裸芯片的筒夹的头部、以及控制部。所述控制部构成为,利用圆顶板吸附切割带,利用所述头部将所述筒夹着落至所述裸芯片,利用所述筒夹吸附所述裸芯片,从所述圆顶板使...
该专利属于捷进科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过捷进科技有限公司授权不得商用。
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