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用于活化电浆处理设备的组件的方法，电浆处理设备包括一感测器，用于检测在电浆处理工具的保护性表面涂层上的剥离弱化层的厚度或粗糙度、和/或用于检测由这样的剥离弱化层所产生的空浮的污染物。此方法包括：检测剥离弱化层积聚的有害物质的量、或来自此剥离...
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