下载磨轮的表面镀膜方法的技术资料

文档序号:34285090

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本发明涉及磨轮表面处理技术领域,公开了一种磨轮的表面镀膜方法,包括:将磨轮放置在处理室内;对所述处理室进行抽真空处理,使得所述处理室内的真空度达到第一预设真空度;通入氩气,使得所述处理室内的真空度达到第二预设真空度;对石墨靶源进行离子溅射处...
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