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一种电浆处理设备及方法，用于半导体处理的电浆处理设备包含注入器固持器，注入器固持器用以与界定电浆处理设备的内部室的结构可移除地配合。注入器固持器界定第一开口。套筒收容在第一开口内，且套筒界定第二开口。气体注入器收容在套筒的第二开口内。注入器...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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