下载半导体配置及其形成方法与电容器的技术资料

文档序号:34250344

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提供一种半导体配置及形成此半导体配置的方法与电容器。此半导体配置包含第一导电层及未于第一导电层之上的第一介电层。第二导电层位于第一介电层的一部分之上,且具有侧壁表面。间隙壁位于第二导电层的侧壁的一部分之上,且覆盖第二导电层与第一介电层之间的...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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