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本发明的光学单元(13)具备：输入部(21)，其输入自紫外区域遍及可视区域的波长的测量光(L1)；光学系统(22)，其以产生色像差的状态将测量光(L1)聚光；及开口部(31)，其中，产生了色像差的测量光(L1)中的、可视区域的波长的光(La...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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