下载半导体装置结构的技术资料

文档序号:34208077

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本发明实施例提供一种半导体装置结构。半导体装置结构包括栅极介电层、栅极层、第一自对准接点层、隔离层以及第一侧壁间隔物。栅极层接触栅极介电层;第一自对准接点层位于栅极层上;隔离层位于栅极层与第一自对准接点层之间;第一侧壁间隔物接触栅极介电层、...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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