专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
IMEC非营利协会
>
图案化方法技术
>技术资料下载
下载图案化方法的技术资料
文档序号:34206564
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
根据一个方面,提供了一种图案化方法,其包含:在下部图案记忆层上,形成第一上部阻挡的图案,然后形成上部图案记忆层,然后形成第二上部阻挡的图案;随后,使用光刻和蚀刻在上部图案记忆层中图案化上沟槽,并沿上沟槽的侧壁形成间隔线,以限定提供间隔的上沟...
该专利属于IMEC非营利协会所有,仅供学习研究参考,未经过IMEC非营利协会授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。