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本申请提供一种晶圆检测方法、装置、设备及存储介质，其中，检测方法包括：通过接收待检测的原始晶圆图片，对原始晶圆图片进行图片分割，得到多张第一图片；对原始晶圆图片和多张第一图片进行图片缩放，分别得到第二图片和多张第三图片，第二图片和第三图片均...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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