晶圆检测方法、装置、设备及存储介质制造方法及图纸

本申请提供一种晶圆检测方法、装置、设备及存储介质，其中，检测方法包括：通过接收待检测的原始晶圆图片，对原始晶圆图片进行图片分割，得到多张第一图片；对原始晶圆图片和多张第一图片进行图片缩放，分别得到第二图片和多张第三图片，第二图片和第三图片均满足晶圆检测模型对输入图片的尺寸要求；将第二图片和多张第三图片依次输入晶圆检测模型中，得到第二图片对应的第一检测结果，以及每张第三图片对应的第二检测结果；再根据第一检测结果以及多个第二检测结果，确定原始晶圆图片的总检测结果。上述方案可避免图片压缩造成缺陷信息的丢失，在保证大尺寸缺陷的检测精度的同时，大幅提高了小尺寸缺陷的检测精度。提高了小尺寸缺陷的检测精度。提高了小尺寸缺陷的检测精度。

【技术实现步骤摘要】
晶圆检测方法、装置、设备及存储介质


[0001]本申请涉及半导体生产领域，尤其涉及一种晶圆检测方法、装置、设备及存储介质。

技术介绍

[0002]晶圆(wafer)是制造半导体器件的基础性原材料。极高纯度的半导体经过拉晶、切片等工序制备成为晶圆，晶圆经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构，再经切割、封装、测试成为芯片，广泛应用到各类电子设备当中。
[0003]晶圆制造工艺极其复杂，主要包括曝光、蚀刻、离子注入、薄膜沉积和化学机械研磨等步骤，在实际生产制造中多达六百到上千个步骤。晶圆的缺陷种类众多，形状大小各异。目前，采用传统的计算机视觉检测方式，对晶圆的缺陷检测效果不佳，尤其是对于小尺度的晶圆缺陷，检测精度差。

技术实现思路

[0004]本申请提供一种晶圆检测方法、装置、设备及存储介质，提高对不同尺度晶圆缺陷的检测精度。
[0005]第一方面，本申请实施例提供一种晶圆检测方法，包括：
[0006]接收待检测的原始晶圆图片；
[0007]对所述原始晶圆图片进行图片分割，得到多张第一图片，所述多本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆检测方法，其特征在于，包括：接收待检测的原始晶圆图片；对所述原始晶圆图片进行图片分割，得到多张第一图片，所述多张第一图片之间存在部分重叠；对所述原始晶圆图片进行图片缩放，得到第二图片；对多张所述第一图片进行图片缩放，得到多张第三图片；将所述第二图片以及多张所述第三图片依次输入晶圆检测模型中，得到所述第二图片对应的第一检测结果，以及每张所述第三图片对应的第二检测结果；根据所述第一检测结果以及多个所述第二检测结果，确定所述原始晶圆图片的总检测结果。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述原始晶圆图片进行图片分割，得到多张第一图片，包括：采用预设的滑动窗口对所述原始晶圆图片进行图片分割，得到多张第一图片。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述原始晶圆图片的尺寸为N
×
N，所述滑动窗口的尺寸为N/n
×
N/n，所述采用预设的滑动窗口对所述原始晶圆图片进行图片分割，得到多张第一图片，包括：分别在第一方向和第二方向上以N/2n为步长，移动所述滑动窗口，得到(2n
‑
1)
×
(2n
‑
1)张所述第一图片，其中，所述第一方向与所述第二方向相互垂直，n为大于或等于2的正整数。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一检测结果包括所述第二图片中存在晶圆缺陷的第一缺陷位置，所述第二检测结果包括每张所述第三图片中存在晶圆缺陷的第二缺陷位置；所述根据所述第一检测结果以及多个所述第二检测结果，确定所述原始晶圆图片的总检测结果，包括：将所述第一检测结果中的所述第一缺陷位置，以及每个所述第二检测结果中的所述第二缺陷位置，映射到所述原始晶圆图片的坐标系中，得到多个第三缺陷位置；根据所述多个第三缺陷位置，确定所述原始晶圆图片中存在晶圆缺陷的总的缺陷位置。5.根据权利要求1
‑
4中任一项所述的方法，其特征在于，所述晶圆检测模型是基于深度神经网络模型，经过训练样本训练得到的，所述训练样本的获取过程，包括：获取晶圆图片样本以及所述晶圆图片样本对应的标注结果，所述标注结果包括晶圆图片样本中存在晶圆缺陷的缺陷位置；对所述晶圆图片样本进行图片分割，得到多张第一分割图片样本；根据所述晶圆图片样本中所述缺陷位置，从所述多张第一分割图片样本中选取存在晶圆缺陷的第二分割图片样本；将所述晶圆图片样本以及所述第二分割图片样本作为所述晶圆检测模型的训练样本。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述对所述晶圆图片样本进行图片分割，得到多张第一分割图片样本，包括：采用预设的滑动窗口对所述晶圆图片样本进行图片分割，得到多张第一分割图片样
本。7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述晶圆图片样本的尺寸为N
×
N，所述滑动窗口的尺寸为N/n
×
N/n，所述采用预设的滑动窗口对所述晶圆图片样本进行图片分割，得到多张第一分割图片样本，包括：分别在第一方向和第二方向上以N/2n为步长，移动所述滑动窗口，得到(2n
‑
1)
×
(2n
‑
1)张所述第一分割图片样本，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，若所述晶圆图片样本或者所述第二分割图片样本不满足所述晶圆检测模型的输入尺寸要求，所述方法还包括：对所述晶圆图片样本进行图片缩放，将缩放后的晶圆图片样本作为所述晶圆检测模型的一个训练样本；或者对所述第二分割图片样本进行图片缩放，将缩放后的第二分割图片样本作为所述晶圆检测模型的一个训练样本。9.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括：接收模块，用于接收待检测的原始晶圆图片；处理模块，用于对所述原始晶圆图片进行图片分割，得到多张第一图片，所述多张第一图片之间存在部分重叠；对所述原始晶圆图片进行图片缩放...

【专利技术属性】
技术研发人员：瞿德清，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：