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本实用新型提供了一种拆卸工具，用于同步拆卸蚀刻机台中的两个温度信号转换器，每个所述温度信号转换器均通过弹簧卡扣连接在所述蚀刻机台上，包括支撑部、U形部及两个平行的一字延伸部；所述U形部的底部连接所述支撑部且与所述支撑部同轴设置，所述一字延伸...
该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。

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