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本发明提供一种表面形貌可调的压电涂层的制备方法及该压电涂层，包括：制备溅射靶材；初步清洁衬底；准备磁控溅射设备与衬底摆放；引入高纯Ar气，设置衬底负偏压，开启弧电源，Ar被电离成Ar
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该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

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