下载量子阱光探测器的制作方法以及量子阱光探测器的技术资料

文档序号:34177556

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本申请提供了一种量子阱光探测器的制作方法以及量子阱光探测器,该方法包括:提供受体基底,受体基底包括依次叠置的第一衬底层、第一Ge缓冲层、Ge
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该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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