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在一些实施例中,本发明实施例有关于集成芯片,集成芯片包含设置于基底上方的栅极电极以及设置于栅极电极上方的栅极介电层。栅极介电层包含铁电材料。主动结构设置于栅极介电层上方,且主动结构包含半导体材料。源极接点和漏极接点设置于主动结构上方。覆盖结...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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在一些实施例中,本发明实施例有关于集成芯片,集成芯片包含设置于基底上方的栅极电极以及设置于栅极电极上方的栅极介电层。栅极介电层包含铁电材料。主动结构设置于栅极介电层上方,且主动结构包含半导体材料。源极接点和漏极接点设置于主动结构上方。覆盖结...