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激光加工装置制造方法及图纸
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文档序号:34122711
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一种激光加工装置,具备:输出激光的光源;显示用于调制自上述光源输出的上述激光的调制图案的空间光调制器;将通过上述空间光调制器调制后的上述激光聚光于对象物的聚光透镜;及以对应于相对于上述对象物的上述激光的聚光点的行进方向而调整上述调制图案的方...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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