激光加工装置制造方法及图纸

一种激光加工装置，具备：输出激光的光源；显示用于调制自上述光源输出的上述激光的调制图案的空间光调制器；将通过上述空间光调制器调制后的上述激光聚光于对象物的聚光透镜；及以对应于相对于上述对象物的上述激光的聚光点的行进方向而调整上述调制图案的方式控制上述空间光调制器的控制部。制上述空间光调制器的控制部。制上述空间光调制器的控制部。

Laser processing device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】激光加工装置


[0001]本专利技术涉及激光加工装置。

技术介绍

[0002]在专利文献1中记载有一种激光切割装置。该激光切割装置具备：使晶圆移动的载台、对晶圆照射激光的激光头、及进行各部的控制的控制部。激光头具有：出射用于在晶圆的内部形成改质区域的加工用激光的激光光源、依序配置在加工用激光的光路上的分色镜及聚光透镜、及AF装置。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本专利第5743123号

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的问题
[0007]但是，在例如上述的激光切割装置中，激光的聚光点的形状(以下有时称为“聚光形状”)会对龟裂自改质区域的伸展量等加工结果造成影响。此外，在将聚光形状维持为一定时，相对于晶圆等对象物的激光的聚光点的行进方向(以下有时称为“激光行进方向”)会对加工结果造成影响。因此，在上述
中，优选可对应于激光行进方向来调整聚光形状。
[0008]因此，本专利技术以提供可对应于激光的聚光点的行进方向来调整激光的聚光形状的激光加工装置为目的。
[0009]解决问题的技术手段
[0010]即，本专利技术的激光加工装置，具备：输出激光的光源；显示用于调制自光源输出的激光的调制图案的空间光调制器；将通过空间光调制器调制后的激光聚光于对象物的聚光透镜；及以对应于相对于对象物的激光的聚光点的行进方向而调整调制图案的方式控制空间光调制器的控制部。
[0011]该激光加工装置具备空间光调制器。因此，控制部可通过调整显示于空间光调制器的调制图案来调整聚光形状。特别是在该激光加工装置中，控制部对应于激光行进方向，调整调制图案而使其显示于空间光调制器。这样，根据该激光加工装置，可对应于激光行进方向来调整聚光形状。
[0012]但是，聚光形状如上所述可通过显示于空间光调制器的调制图案的调整来调整。因此，为了取得所希望的加工结果，优选充分确保调制图案的调整的边界(margin)。另一方面，本专利技术人发现了在使激光的聚光点相对于晶圆朝一方向移动来进行加工的情况、及使激光的聚光点朝相反方向移动来进行加工的情况下，若欲将调制图案(即聚光形状)一并(一边维持为一定)调整，则调整的边界只为些微的问题。
[0013]本专利技术人为了解决上述问题而进一步研究探讨，发现了若对应于相对于晶圆的激
光的聚光点的行进方向(激光行进方向)来调整调制图案，则调制图案的调整的边界被扩大。其结果，可不取决于激光行进方向，而得到所希望的加工结果。本专利技术人根据该见解进一步研究的结果，完成以下专利技术。
[0014]即，在本专利技术的激光加工装置中，也可以是控制部在聚光点相对于对象物朝第1方向行进的第1情况、与聚光点相对于对象物朝第1方向的相反的第2方向行进的第2情况下，个别地调整调制图案。这样，激光行进方向在第1方向及其相反的第2方向，个别地调整调制图案，由此扩大了调制图案的调整的边界。
[0015]在本专利技术的激光加工装置中，也可以是控制部在第1情况下，以聚光点的形状成为朝第1方向凸出的弧状的方式调整调制图案，并且在第2情况下，以聚光点的形状成为朝第2方向凸出的弧状的方式调整调制图案。这样，通过以激光的聚光形状成为朝行进方向凸出的弧状的方式调整调制图案，可使来自形成于激光的聚光点的改质区域的龟裂的进展量增大。
[0016]在本专利技术的激光加工装置中，也可以是控制部在第1情况下，以聚光点的形状成为朝第2方向凸出的弧状的方式调整调制图案，并且在第2情况下，以聚光点的形状成为朝第1方向凸出的弧状的方式调整调制图案。这样，通过以激光的聚光形状成为与行进方向相反地凸出的弧状的方式调整调制图案，可抑制来自形成于激光的聚光点的改质区域的龟裂的进展。
[0017]本专利技术的激光加工装置也可以具备：用于显示信息的显示部；及受理输入的输入部，显示部显示用于催促输入用于调整调制图案的参数的信息，输入部受理参数的输入，控制部根据输入部所受理到的参数，调整调制图案。此时，可进行对应于使用者的输入的调制图案的调整。
[0018]在本专利技术的激光加工装置中，也可以是调制图案包含用于补正激光的球面像差的球面像差补正图案，参数包含相对于聚光透镜的光瞳面的中心的球面像差补正图案的中心的沿着行进方向的偏置量。这样，通过将球面像差补正图案的偏置量作为参数来设定，可以控制龟裂的伸展量的方式调整激光的聚光形状(例如，可调整为上述的弧状)。
[0019]在本专利技术的激光加工装置中，也可以是调制图案包含用于对激光赋予正的彗形像差的彗形像差图案，参数包含彗形像差的大小。这样，即使将赋予激光的彗形像差的大小作为参数来设定，也与将球面像差补正图案的偏置量作为参数的情况同样地，可以控制龟裂的伸展量的方式调整激光的聚光形状(例如，可调整为上述的弧状)。
[0020]专利技术的效果
[0021]根据本专利技术，可提供可对应于激光的聚光点的行进方向来调整激光的聚光形状的激光加工装置。
附图说明
[0022]图1是示出一实施方式的激光加工装置的结构的模式图。
[0023]图2是一实施方式的晶圆的俯视图。
[0024]图3是图2所示的晶圆的一部分的截面图。
[0025]图4是示出图1所示的激光照射单元的结构的模式图。
[0026]图5是示出图4所示的中继透镜单元的图。
[0027]图6是图4所示的空间光调制器的部分截面图。
[0028]图7是用于说明聚光形状的调整的一个例子的模式图。
[0029]图8是示出聚光形状的一个例子的图。
[0030]图9是示出使球面像差补正图案的偏置量以多个阶段变化时的聚光形状的变化的图。
[0031]图10是示出在使球面像差补正图案偏置的状态下的激光加工的样子的模式图。
[0032]图11是示出球面像差补正图案的偏置量与加工结果的关系的表。
[0033]图12是示出球面像差补正图案的偏置量与加工结果的关系的截面照片。
[0034]图13是示出调制图案与聚光形状的关系的图。
[0035]图14是示出显示出信息的状态的输入受理部的图。
[0036]图15是示出显示出信息的状态的输入受理部的图。
[0037]图16是示出激光加工的一个例子的模式俯视图。
[0038]图17是示出已进行奇数次扫描时的半导体基板的截面的图。
具体实施方式
[0039]以下，参照附图，详细地说明一实施方式。其中，在各图中，有对相同或相当的部分标注相同的符号且省略重复说明的情况。此外，在各图中有时示出通过X轴、Y轴、及Z轴所规定的正交坐标系。
[0040]图1是示出一实施方式的激光加工装置的结构的模式图。如图1所示，激光加工装置1具备：载台2、激光照射单元3、驱动单元9、及控制部10。激光加工装置1是通过对对象物11照射激光L，而在对象物11形成改质区域12的装置。
[0041]载台2通过吸附例如被贴附于对象物1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种激光加工装置，其中，具备：输出激光的光源；显示用于调制自所述光源输出的所述激光的调制图案的空间光调制器；将通过所述空间光调制器调制后的所述激光聚光于对象物的聚光透镜；及以对应于相对于所述对象物的所述激光的聚光点的行进方向而调整所述调制图案的方式控制所述空间光调制器的控制部。2.如权利要求1所述的激光加工装置，其中，所述控制部在所述聚光点相对于所述对象物朝第1方向行进的第1情况、与所述聚光点相对于所述对象物朝所述第1方向的相反的第2方向行进的第2情况下，个别地调整所述调制图案。3.如权利要求2所述的激光加工装置，其中，所述控制部在所述第1情况下，以所述聚光点的形状成为朝所述第1方向凸出的弧状的方式调整所述调制图案，并且在所述第2情况下，以所述聚光点的形状成为朝所述第2方向凸出的弧状的方式调整所述调制图案。4.如权利要求2所述的激光加工装置，其中，所述控制部在所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：荻原孝文，广瀬翼，坂本刚志，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：