下载用于确定工艺气体的流量的测量方法和测量装置的技术资料

文档序号:34121106

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为了以非常高的精度和小的测量误差来实现对工艺气体(1)的流量的测量,设置有配重(2),所述配重经由补偿装置(4)与气体压力容器(3)连接,所述配重产生配重力(F2),其中补偿装置(4)被设计为使得容器重力(F3)至少部分地补偿配重力(F2)...
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