用于确定工艺气体的流量的测量方法和测量装置制造方法及图纸

为了以非常高的精度和小的测量误差来实现对工艺气体(1)的流量的测量，设置有配重(2)，所述配重经由补偿装置(4)与气体压力容器(3)连接，所述配重产生配重力(F2)，其中补偿装置(4)被设计为使得容器重力(F3)至少部分地补偿配重力(F2)或者配重力(F2)至少部分地补偿容器重力(F3)以形成结果得到的测量重力(Fx)，其中设置有工艺秤(5)，其被设计为在至少两个时间点(t1，t2)确定所述测量重力(Fx)，并且其中设置有分析单元(6)，所述分析单元与所述工艺秤(5)连接并且被设计为在使用在至少两个时间点(t1，t2)确定的测量重力(Fx)的情况下确定工艺气体(1)的流量(X)。工艺气体(1)的流量(X)。工艺气体(1)的流量(X)。

Measuring method and device for determining the flow of process gas

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于确定工艺气体的流量的测量方法和测量装置
[0001]本专利技术涉及一种用于确定工艺气体的流量的测量方法和测量装置，该工艺气体在施加有过压的情况下包含在气体压力容器中，并且随流量从气体压力容器中逸出，其中容器重力由气体压力容器与所包含的工艺气体共同产生。
[0002]通常需要非常精确地确定工艺气体的流量。这可以通过从气体容器中逸出工艺气体并且在多个时间点确定位于气体容器中的工艺气体的量、即质量来实现。流量可以根据工艺气体的这些特定的量或质量来确定，因为众所周知，流量对应于质量流。
[0003]如果工艺气体的流量被非常准确地确定，则可以将该流量用于校准流量测量设备。通常，在校准方法的进程中，将理论值与测量设备的实际值进行比较。在此，准确已知的校准值用作理论值并因此用作参考。为了校准流量测量设备，由此可以将在不同时间点根据工艺气体的质量非常准确地确定的流量用作理论值。逸出的工艺气体被馈入流量测量设备。流量测量设备测量工艺气体的流量作为实际值，该实际值在校准流量测量设备的框架内与理论值进行比较。
[0004]为了减少工艺气体的体积并因此能够存储更大量的工艺气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于确定工艺气体(3)的流量(X)的测量方法，所述工艺气体在施加有过压的情况下被包含在气体压力容器(3)中，并且随流量(X)从所述气体压力容器(3)中逸出，其中容器重力(F3)由所述气体压力容器(3)与所包含的工艺气体(1)共同产生，其特征在于，借助由配重(2)产生的配重力(F2)至少部分地补偿所述容器重力(F3)或者借助由所述配重(2)产生的容器重力(F3)至少部分地补偿配重力(F2)以形成结果得到的测量重力(Fx)，在至少两个时间点(t1，t2)确定所述测量重力(Fx)，以及在使用在至少两个时间点(t1，t2)确定的测量重力(Fx)的情况下确定所述工艺气体(1)的流量(X)。2.如权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所逸出的工艺气体(1)被馈送到流量测量设备(P)，并且所逸出的工艺气体(1)的所确定的流量(X)被用于校准所述流量测量设备(P)。3.一种用于确定工艺气体(3)的流量(X)的测量装置(10)，所述工艺气体在施加有过压的情况下被包含在气体压力容器(3)中，并且随流量(X)从所述气体压力容器(3)中逸出，其中容器重力(F3)由所述气体压力容器(3)与所包含的工艺气体(1)共同作用，其特征在于，设置有配重(2)，所述配重经由补偿装置(4)与所述气体压力容器(3)连接，所述配重产生配重力(F2)，其中所述补偿装置(4)被设计为使得所述容器重力(F3)至少部分地补偿所述配重力(F2)或者所述配重力(F2)至少部分地补偿所...

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：AVL李斯特有限公司，
类型：发明
国别省市：