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本公开涉及一种液供给装置、液供给方法和计算机存储介质。液供给装置具备：贮存部，其用于贮存处理液；喷出部，其用于向基板喷出所述处理液；配管，其被设置于从所述贮存部到所述喷出部的送液线路；送液部，其配置于所述送液线路的所述贮存部与所述喷出部之间...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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