液供给装置、液供给方法和计算机存储介质制造方法及图纸

本公开涉及一种液供给装置、液供给方法和计算机存储介质。液供给装置具备：贮存部，其用于贮存处理液；喷出部，其用于向基板喷出所述处理液；配管，其被设置于从所述贮存部到所述喷出部的送液线路；送液部，其配置于所述送液线路的所述贮存部与所述喷出部之间的位置，用于进行所述处理液的送出；探测部，其分别设置于所述送液线路的所述贮存部与所述送液部之间的位置、以及所述送液部与所述喷出部之间的位置，用于探测是否存在所述处理液；以及控制部，其中，所述控制部构成为：在对所述处理液未通液的所述配管进行处理液的通液时，基于所述探测部的探测结果来控制对所述贮存部、所述送液部、所述喷出部以及所述配管中的至少任一个模块的通液。模块的通液。模块的通液。

【技术实现步骤摘要】
液供给装置、液供给方法和计算机存储介质


[0001]本公开涉及一种液供给装置、液供给方法和计算机存储介质。

技术介绍

[0002]专利文献1公开了一种泵，该泵具备：管，其具有弹性，供作为移送对象的液体流通；管用壳体，其覆盖管的外侧，在与管的外表面之间的内部空间保持气体；以及供给排出部，其用于进行向内部空间的气体的供给以及从内部空间的气体的排出。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2016
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084803号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]本公开所涉及的技术用于缩短在对处理液未通液的配管进行处理液的通液时作业者通过目视监视通液状态的监视时间。
[0008]用于解决问题的方案
[0009]本公开的一个方式是对基板供给处理液的液供给装置，所述液供给装置具备：贮存部，其用于贮存所述处理液；喷出部，其用于向所述基板喷出所述处理液；配管，其被设置于从所述贮存部到所述喷出部的送液线路；送液部，其配置于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液供给装置，用于对基板供给处理液，具备：贮存部，其用于贮存所述处理液；喷出部，其用于向所述基板喷出所述处理液；配管，其被设置于从所述贮存部到所述喷出部的送液线路；送液部，其配置于所述送液线路的所述贮存部与所述喷出部之间的位置，用于进行所述处理液的送出；探测部，其分别设置于所述送液线路的所述贮存部与所述送液部之间的位置、以及所述送液部与所述喷出部之间的位置，用于探测是否存在所述处理液；以及控制部，其中，所述控制部构成为：在对所述处理液未通液的所述配管进行所述处理液的通液时，基于所述探测部的探测结果来控制对所述贮存部、所述送液部、所述喷出部以及所述配管中的至少任一个模块的通液。2.根据权利要求1所述的液供给装置，其特征在于，所述控制部构成为：在对所述配管进行所述处理液的通液时，将从所述贮存部到所述喷出部的通液分割为多个步骤来进行，基于所述探测部的探测结果来控制与各步骤对应的所述模块的通液。3.根据权利要求2所述的液供给装置，其特征在于，所述控制部构成为：基于针对每个所述步骤预先设定的所需时间和所述探测部的探测结果，来进行是否还继续进行所述步骤中的通液处理的判定。4.根据权利要求1所述的液供给装置，其特征在于，所述探测部具有设置于所述送液线路的所述送液部与所述喷出部之间的位置的上游侧探测部、以及设置于比所述上游侧探测部靠下游侧的位置的下游侧探测部，所述控制部构成为：基于所述上游侧探测部的探测结果来控制所述送液部的通液，基于所述下游侧探测部的探测结果来输出用于通知所述处理液到达了该下游侧探测部的信号。5.根据权利要求1所述的液供给装置，其特征在于，还具备辅助送液部，所述辅助送液部配置于所述送液线路的所述贮存部与所述送液部之间的位置，用于进行所述处理液的送出，所述探测部设置于所述辅助送液部与所述送液部之间，所述控制部构成为：在对所述处理液未通液的所述辅助送液部进行所述处理液的通液时，基于设置于所述辅助送液部与所述送液部之间的所述探测部的探测结果，来控制所述辅助送液部的动作。6.根据权利要求1所述的液供给装置，其特征在于，所述贮存部与排液管连接，在所述排液管设置有用于探测该排液管内是否存在处理液的其它探测部，所述控制部构成为进行以下控制：在对所述处理液未通液的所述贮存部进行所述处理液的通液时，以不对所述配管进行通液且对所述排液管进行通液的状态向所述贮存部送出所述处理液，在由所述其它探测部探测到存在所述处理液的情况下，从对所述排液管进行通液的状
态切换为对所述配管进行通液且不对所述排液管进行通液的状态。7.根据权利要求1所述的液供给装置，其特征在于，还具备异物去除部，所述异物去除部配置于所述送液线路的...

【专利技术属性】
技术研发人员：若水信也，一野克宪，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：