下载三维半导体存储器件和包括其的电子系统的技术资料

文档序号:34090600

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公开了三维半导体存储器件和包括其的电子系统。所述三维半导体存储器件包括:衬底,包括单元阵列区域和延伸区域;位于所述衬底上的外围电路结构,包括多个外围晶体管;堆叠结构,包括交替堆叠在所述外围电路结构上的层间电介质层和栅电极;接触,在所述延伸区...
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