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本发明提供一种用于制造半导体器件的装置，所述装置可包含腔室、位于腔室中的夹盘以及与夹盘物理连接的偏置电源。装置可包含位于夹盘和偏置电源上方的靶材组件和位于靶材组件上方的磁控管总成。磁控管总成可包含多个外部磁控管和多个内部磁控管，且多个外部磁...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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