下载用于等离子体室的低温烧结涂层的技术资料

文档序号:34085890

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一种用于在衬底处理系统的部件上形成涂层的方法包括:将所述部件布置在处理室中;以及施加陶瓷材料以在所述部件的一个或更多个表面上形成所述涂层。所述陶瓷材料包括混合物,所述混合物包括稀土氧化物且晶粒尺寸小于150nm,并且是在所述处理室内的温度小...
该专利属于朗姆研究公司所有,仅供学习研究参考,未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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