下载圆筒形溅射靶的制造方法以及该制造方法中使用的烧成夹具的技术资料

文档序号:34084279

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本发明在将圆筒形陶瓷成型体以直立状态进行烧成而得到圆筒形陶瓷烧结体时,抑制圆筒形陶瓷成型体大幅倾斜或翘曲,提高未大幅倾斜或翘曲的优质的圆筒形陶瓷烧结体的成品率。本发明提出在对圆筒形陶瓷成型体以直立状态进行烧成时,在被该圆筒形陶瓷成型体的内周...
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