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本揭示内容的实施方式涉及用于管理热处理腔室中的有机化合物的设备、系统和方法。气体管线可以与热处理腔室流体连通，并且排气泵可以通过排气导管耦接到热处理腔室，并且可以由流出物流量控制阀控制。设备包括取样管线，取样管线具有耦接到排气导管的有机化合...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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