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一种氧化锌压电晶体膜，由溅射法外延生长于Ｒ－平面蓝宝石衬底上时，使用含相对于Ｚｎ和Ｃｕ的总量为不大于４. ５％（重量）的Ｃｕ的靶极，就可使该氧化锌压电晶体膜含铜。这样，就可获得一种具有优异取向的氧化锌压电晶体膜。...
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