蓝宝石平面上的氧化锌压电晶体膜制造技术

一种氧化锌压电晶体膜，由溅射法外延生长于Ｒ－平面蓝宝石衬底上时，使用含相对于Ｚｎ和Ｃｕ的总量为不大于４. ５％（重量）的Ｃｕ的靶极，就可使该氧化锌压电晶体膜含铜。这样，就可获得一种具有优异取向的氧化锌压电晶体膜。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种外延生长于蓝宝石表面的（１１２０）－平面氧化锌压电晶体膜，该蓝宝石表面实质上平行于其（０１１２）－平面，其特征在于： 所述氧化锌压电晶体膜含有对Ｚｎ和Ｃｕ的总量不大于４. ５％（重量）的Ｃｕ。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：小池纯，家木英治，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]