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氮化硼粒子及其制造方法技术
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文档序号:34076911
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本发明的一个方面为氮化硼粒子的制造方法,其具备:反应工序,将包含硼酸酯的第1气体和包含氨的第2气体从筒状的反应器的一端面各自分别地导入反应器内,在反应器内,使硼酸酯与氨于750℃以上进行反应,得到氮化硼粒子的前体;和,加热工序,将氮化硼粒子...
该专利属于电化株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过电化株式会社授权不得商用。
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