下载声表面波器件制造方法的技术资料

文档序号:3407258

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一种利用倒装片工艺的声表面波器件制造方法,包括下列步骤:在压电基板上形成至少一个叉指式换能器和与该叉指式换能器电连接的多个电极盘;在各个电极盘上形成各凸部;以及在形成有凸部区域的以外区域提供一绝缘膜。...
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