声表面波器件制造方法技术

技术编号:3407258 阅读:175 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种利用倒装片工艺的声表面波器件制造方法,包括下列步骤:在压电基板上形成至少一个叉指式换能器和与该叉指式换能器电连接的多个电极盘;在各个电极盘上形成各凸部;以及在形成有凸部区域的以外区域提供一绝缘膜。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种利用倒装片工艺的声表面波器件制造方法,其特征在于,包括下列步骤: (A)在压电基板上形成至少一个叉指式换能器和与该叉指式换能器电连接的多个电极盘; (B)在各个电极盘上形成各凸部;以及 (C)在形成有凸部区域的以外区域提供一绝缘膜。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:高田俊明大和秀司高田忠彦
申请(专利权)人:株式会社村田制作所
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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