下载ZnO/蓝宝石基片及其制造方法的技术资料

文档序号:3407015

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提供结晶性优良、没有裂缝的(1,1,*,0)ZnO附晶定向生长膜在(0,1,*,2)R面蓝宝石上附晶定向生长的ZnO/蓝宝石基片。该ZnO/蓝宝石基片通过使氧化锌膜在(0,1,*,2)结晶面与基片表面平行的R面蓝宝石上附晶定向生长、使氧化锌...
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