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本发明公开了一种用于改变谐振器梁的谐振频率的方法。该方法包括首先制造具有第一端和第二端的谐振器梁。该谐振器梁通过第一端和第二端被悬置在衬底的上方。谐振器梁的至少一端连接到致动器，该致动器向谐振器梁施加致动力以向所述谐振器梁上施加拉伸应变或者...
该专利属于英特尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔公司授权不得商用。

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