下载制作表面声波器件的方法及表面声波器件的技术资料

文档序号:3406502

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一种制作表面声波器件的方法,包括以下步骤:在压电衬底上形成用来构成叉指电极、接线电极和电极焊接区的第一电极膜;在压电衬底上形成绝缘膜,以覆盖第一电极膜;将绝缘膜制成图案,除去第一电极膜要层叠第二电极膜的部分上存在的绝缘膜;在第一电极膜已除去...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。

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