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声界面波装置制造方法及图纸
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文档序号:3405959
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一种使用边界声波的小尺寸、高性能声界面波装置。通过使滤波器波带锐化,并且在单个衬底上制造波段具有不同特定带宽的谐振器和滤波器,获得所述装置。在声界面波装置(1)中,在单晶衬底(4)上形成固态层(5),并且在单晶衬底(4)与固态层(5)之间设...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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