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本实用新型提供了一种晶圆侧边影像检测装置，属于半导体检测领域，装置包括影像采集机构、晶圆载台和控制器，影像采集机构距离可调的正对晶圆载台设置，晶圆载台高度可调的旋转支撑多种规格的晶圆，通过控制器控制晶圆载台带动被测晶圆旋转，并控制影像采集机...
该专利属于苏州矽行半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州矽行半导体技术有限公司授权不得商用。

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