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本公开实施例涉及一种集成芯片及其形成方法,集成芯片包括:衬底、第一图像感测元件及第二图像感测元件以及背侧深沟槽隔离(BDTI)结构。第一图像感测元件及第二图像感测元件彼此紧邻着布置在衬底之上,且具有第一掺杂类型。背侧深沟槽隔离结构布置在第一...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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本公开实施例涉及一种集成芯片及其形成方法,集成芯片包括:衬底、第一图像感测元件及第二图像感测元件以及背侧深沟槽隔离(BDTI)结构。第一图像感测元件及第二图像感测元件彼此紧邻着布置在衬底之上,且具有第一掺杂类型。背侧深沟槽隔离结构布置在第一...