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本发明公开了一种耐磨TiSiCN纳米复合多层涂层及其制备方法，在镀膜设备的真空室内首先对基体进行Ar离子辉光清洗和Ti离子清洗，然后在其上沉积一层过渡层，最后在过渡层上交替周期性涂覆纳米复合TiSiCN多层涂层，得到的基体上沉积的TiSiC...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

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