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一种清洁极紫外线遮罩的系统和方法，极紫外线微影系统清洁EUV光罩上的碎屑。该系统包括用以邻近EUV光罩定位的清洁电极。该系统包括电压源，该电压源通过向清洁电极施加交替极性的电压来帮助将碎屑自EUV光罩吸向清洁电极。极。极。
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该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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