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本发明涉及一种衬底洗净装置及衬底洗净方法。衬底洗净装置包含：衬底保持部，将衬底以水平姿势保持；及一面洗净装置，洗净由衬底保持部保持的衬底的一面。一面洗净装置包含：洗净具，以可与衬底的一面接触的方式设置；流体缸，对洗净具施加朝向上方的力；及缸...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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