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本发明涉及体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和单晶压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：压电层的下表面与基底的上表面之间设置有支撑结构，压电层与基底大体平行布置；顶电极和底电极的非电极连接端均具有锐角结构，所述锐角结构包括...
该专利属于诺思（天津）微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺思（天津）微系统有限责任公司授权不得商用。

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