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本申请提供了一种光罩的缺陷的修复方法、修复装置和光罩的修复系统，该修复方法包括：确定目标光罩的缺陷的缺陷信息，缺陷信息包括缺陷的位置信息以及尺寸信息，缺陷为位于目标光罩的透明区的铬层；根据缺陷信息，控制对缺陷进行干法刻蚀处理，以去除缺陷，得...
该专利属于无锡迪思微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡迪思微电子有限公司授权不得商用。

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