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本实用新型公开了一种能够增加键合中晶圆对准效率的装置，包括水平设置的定位环和竖直设置的引导杆，所述引导杆穿过所述定位环并与所述定位环的内侧相连接，且所述引导杆围绕所述定位环设置；所述引导杆包括弧形引导段和直线引导段，所述弧形引导段与所述直线...
该专利属于广东中科半导体微纳制造技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过广东中科半导体微纳制造技术研究院授权不得商用。

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