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本发明涉及一种制造集成电路的方法及系统。所提出的方法包括：根据与晶圆上第一组标记相关联的第一量测数据及第一补偿数据、以及与所述晶圆上第二组标记相关联的第二量测数据及第二补偿数据而计算损失值；以及经由调整与所述第一补偿数据及所述第二补偿数据相...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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